產(chǎn)品參數(shù)
| 序 | 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
| 1 | 設(shè)備尺寸 | 530mm*538mm*674 mm（W*H*D） |
| 2 | 電力需求 | AC220V，50HZ |
| 3 | 腔體尺寸 | 尺寸：210mm*210mm*220mm（W*H*D），9L 材質(zhì)：鋁合金 |
| 4 | 電極形式 | 內(nèi)置平板式電極，尺寸：180*185mm； |
| 5 | 托盤載物 | 單層載物面積：150*170mm，共 2 層 |
| 6 | 真空泵 | 油泵，抽速：3L/S，極限真空：1Pa |
| 7 | 等離子發(fā)生源 | 高頻 40kHZ，500w 連續(xù)可調(diào) |
| 8 | 進(jìn)氣系統(tǒng) | 共 2 路進(jìn)氣；0-500sccm 質(zhì)量流量控制器 |
| 9 | 控制系統(tǒng) | PLC+觸摸屏 |
| 10 | 真空測量系統(tǒng) | 日本愛發(fā)科皮拉尼真空計(jì) |
| 11 | 處理時(shí)間 | 0-15min |
| 12 | 工作真空度 | 5-80Pa |
| 13 | 可使用氣體 | Ar、O2、N2、Ar+ H2、空氣等 |
| 14 | 權(quán)限設(shè)置 | 兩級(jí)權(quán)限 |
設(shè)備外形及尺寸參考圖
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